ジボランガス

昭和58年(1983年)に半導体製造用特殊ガス「ジボラン」の商業生産を国内で初めて開始しました。以後、徹底した保安管理および品質管理(ISO9001認証取得)のもと、高品質なジボランガスを製造して参りました。

当社のジボランガスは、半導体のみならず、液晶、太陽電池メーカーに安定的に供給しております。現在では国内で85%以上のシェアを有しております。

ジボランガスの用途

ジボランガスは半導体用材料ガスとして重要ですが、それ以外では重合触媒、還元剤、ロケットの推進剤等としても有用です。半導体製造ではホウ素のドーピング剤として使われますが、最近ではメモリーの製造過程でも用いられるようになりました。

ジボランガスの販売元は大陽日酸株式会社となっております。

大陽日酸株式会社 https://www.tn-sanso.co.jp/

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